衍射光柵的類型

衍射光柵

衍射光柵的槽密度、深度和輪廓決定了衍射光柵的光譜范圍、效率、分辨率和性能。通常有兩種不同類型的衍射光柵-直紋光柵和全息光柵。刻劃衍射光柵由刻線引擎產(chǎn)生，該刻線引擎使用金剛石尖端工具在光柵基板（通常為涂有薄反射層的玻璃）的涂層上切割凹槽。全息衍射光柵是使用干涉光刻技術(shù)制作的，它可以產(chǎn)生光滑的溝槽表面，并消除直紋光柵中的周期性誤差。

衍射光柵可以是反射光柵或透射光柵。最常見(jiàn)的衍射光柵類型是平面光柵和凹面光柵，盡管它們也可以是其他輪廓，如凸面或環(huán)形，具體取決于應(yīng)用。反射光柵通常涂有一層反射涂層，通常是鋁和一層用于UV-VIS-NIR的保護(hù)涂層，或者是用于IR的金涂層。

透射光柵通常帶有防反射涂層。衍射光柵可以具有正弦或閃耀輪廓。正弦光柵的效率通常低于閃耀光柵，但其光譜覆蓋范圍通常更廣。閃耀光柵具有“鋸齒”輪廓，通常提供更高的效率。商用衍射光柵通常是由副主衍射光柵產(chǎn)生的復(fù)制光柵，副主衍射光柵可能比主衍射光柵低若干代。通常，產(chǎn)生主衍射光柵的成本是昂貴的，并且通過(guò)提供復(fù)制光柵（其提供幾乎不可區(qū)分的性能），一個(gè)主衍射光柵可以產(chǎn)生數(shù)千個(gè)復(fù)制品，從而降低衍射光柵的單位成本。